L'eau dans le secteur de la micro-électronique

La révolution informatique des vingt dernières années n’a été rendue possible que grâce à la miniaturisation des microprocesseurs et circuits intégrés entrant dans la composition de base de tout système électronique.

Ces innovations nécessitent des technologies toujours plus fines. L’environnement entrant dans la fabrication des puces est soumis à des critères de qualité de plus en plus draconiens, tant au niveau des salles blanches que sur les différents produits chimiques, gaz, solvants et eau déminéralisée nécessaires à la fabrication des plaquettes de silicium.

Ces exigences de qualité de l’eau ultra-pure imposent des chaînages de traitement ultra-performants permettant ainsi d’atteindre au plus près la pureté théorique de l’eau.

A partir de l’eau de ville, PERMO met en place des process de traitement d’eau en accord avec les besoins de chacun de ses partenaires.

Prétraitement

Le prétraitement a pour objet d’éliminer les Matières En Suspensions (MES) les plus grossières et de rendre l’eau brute compatible avec le traitement ultérieur sur membranes :

• Préfiltration sur sable et/ou sur cartouches ;
• Adoucissement ou séquestrant ;
• Déchloration ;
• Microfiltration.

Déminéralisation primaire

La première étape de déminéralisation est confiée à une unité d’osmose inverse qui permet l’élimination de 99 % des ions présents, mais aussi des bactéries et matières organiques.

Suivant l’importance des débits mis en jeu, cet osmoseur sera suivi soit par un système d’échangeurs d’ions en lits mélangés, soit par une électrodéionisation. A ce stade, l’eau déminéralisée présente une résistivité de 15 MΩ/cm ; celle-ci est stockée dans une cuve en matière plastique protégée par azote.

Polissage

En sortie de stockage, divers matériels sont placés en série afin d’éliminer les polluants résiduels :

• Générateur UV de 185 nm pour abaisser le COT et la teneur en bactéries ;
• Lits mélangés non régénérables (2 lits mélangés montés en série) pour augmenter la résistivité ;
• Dégazeur membranaire sous vide pour éliminer les gaz dissous (O2) ;
• Microfiltration ou ultrafiltration pour la rétention des particules.

Cette eau purifiée est distribuée jusqu’aux points d’utilisation à l’aide d’une boucle en PVDF évitant toute altération de sa qualité.